乐鱼体育可靠吗：和显达微电子请求铜金属蚀刻液组合物专利CD-loss可控制在09-11微米

  国家知识产权局信息数据显现，南京和显达微电子科技有限公司请求一项名为“一种铜金属蚀刻液组合物”的专利，公开号CN121204664A，请求日期为2025年10月。

  专利摘要显现，本发明触及一种铜金属蚀刻液组合物。包含主剂和辅剂，按分量百分比计，所述主剂的组分包含：过氧化氢8-12%、榜首氟源0.02-0.2%、榜首有机酸3-8%、榜首无机酸0.1-1%、双氧水稳定剂0.5-4%、榜首金属缓蚀剂0.01-0.5%、去离子水补足余量；所述辅剂的组分包含：第二有机酸50-80%、第二无机酸3-10%、第二氟源0.1-1%、第二金属缓蚀剂0.1-1%、去离子水补足余量。本发明蚀刻液组合物蚀刻铜-钼钛合金双层金属（铜膜厚度3000-8000Å，钼钛合金膜厚度100-300Å），最高铜负载可达20000ppm，CD-loss可控制在0.9-1.1微米，坡度角到达40-50度。

  天眼查资料显现，南京和显达微电子科技有限公司，成立于2021年，坐落南京市，是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本50万人民币。经过天眼查大数据分析，南京和显达微电子科技有限公司参加招投标项目3次，专利信息3条，此外企业还具有行政许可5个。

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